Измерение толщины пленок кварцевыми резонаторами

**RABBIT** · 21.09.2006, 15:55

Люди, помогите! Делаю диплом по OLEDам. Необходимо наносить слои в высоком вакууме на подложку, контролируя толщину. Есть генератор сигналов высокочастотный Г4-102 и частотомер электронносчетный Ч3-33, однако отсутствуют инструкции к ним. Помогите, пожалуйста, подключить все это дело.

**UT0YO** · 21.09.2006, 16:51

Сообщение от RABBIT

Люди, помогите! Делаю диплом по OLEDам. Необходимо наносить слои в высоком вакууме на подложку, контролируя толщину. Есть генератор сигналов высокочастотный Г4-102 и частотомер электронносчетный Ч3-33, однако отсутствуют инструкции к ним. Помогите, пожалуйста, подключить все это дело.

Генератор Г4-102 вроде остается не задействованый. Два кварцевых генератора. Одна пластина помещается рядом с подложкой. Дальше смеситель и меряется частотомером разница частот генераторов. Чем больше разница, тем толще напыленный слой. Был когда-то такой прибор. Если память не изменяет название было что-то типа "КИТ" с цифрами. Т.е. кварцовый измеритель толщины. Там частоты кварцывых резонаторов были три с чем-то мегагерца.
Странно, что на эту тему пишутся дипломные проекты. Припоминаю эту тему мне пришлось решать для студенческой конференции на первом курсе. Это было примерно в 1965 году.