Нанесение пленки SiO2 на подложку Si
Доброго всем дня!
Ребят, помогите разобраться...
Если на пластину кремний нанести при температуре 1200 С пленку оксида кремния, а потом охладить их до комнатной температуры, что случится с их размерами?
Я понимаю что они оба уменьшаться в линейных размерах, но кто уменьшится больше: кремний или пленка?
КТР кремния в 10 раз больше чем КТР его оксида.
зы. Знаю что это является проблемой при создании микропроцессоров... но инфу в интернете не могу найти!
Заранее благодарен!