Показано с 1 по 5 из 5
  1. #1
    Без позывного
    Регистрация
    09.03.2010
    Возраст
    31
    Сообщений
    1
    Поблагодарили
    0
    Поблагодарил
    0

    Вопрос Нанесение пленки SiO2 на подложку Si

    Доброго всем дня!
    Ребят, помогите разобраться...
    Если на пластину кремний нанести при температуре 1200 С пленку оксида кремния, а потом охладить их до комнатной температуры, что случится с их размерами?
    Я понимаю что они оба уменьшаться в линейных размерах, но кто уменьшится больше: кремний или пленка?
    КТР кремния в 10 раз больше чем КТР его оксида.

    зы. Знаю что это является проблемой при создании микропроцессоров... но инфу в интернете не могу найти!

    Заранее благодарен!


  2. #2
    Без позывного
    Регистрация
    05.03.2010
    Адрес
    Владивосток
    Возраст
    62
    Сообщений
    57
    Поблагодарили
    7
    Поблагодарил
    0
    Поищите Чеботкевич Л А.У не вроде бы описана макрокинетическая теория конденсации,методы получения тонких пленок и прочая,влияние температуры,скорости и поверхностной диффузии на процесс формирования пленки.p.s.А почему наносить,может быть окислить?

  3. #3
    Без позывного
    Регистрация
    02.10.2007
    Возраст
    62
    Сообщений
    43
    Поблагодарили
    1
    Поблагодарил
    0
    Как нанести слой Ge на слой Si? Нужно операцию проводить вне пределах Земли, вдали от магнитных и гравитационных полей, в состоянии невесомости и в глубоком вакууме... Желательно вне пределов Галактики...

  4. #4
    Радиослушатель
    Регистрация
    06.08.2005
    Адрес
    Зеленоград, Москва.
    Возраст
    73
    Сообщений
    47
    Поблагодарили
    14
    Поблагодарил
    3
    Этот процесс называется окислением. Кислород с добавлением влаги образует пленку окисла на кремниевой пластине. После отмывки это вторая операция перед нанесением слоя фоторезиста. Правильно заметил приус..

    Добавлено через 4 минуты
    Набираете в поисковике термическое окисление и вам куча рефератов.

  5. #5
    Без позывного
    Регистрация
    22.03.2010
    Возраст
    38
    Сообщений
    5
    Поблагодарили
    0
    Поблагодарил
    0
    Почему такая огромная температура? В производстве микросхем применяют несколько сот градусов. Пластины ставят стоймя на подставки из фторопласта или керамики внутри кварцевых труб и
    окисляют чистым кислородом

Социальные закладки

Социальные закладки

Ваши права

  • Вы не можете создавать новые темы
  • Вы не можете отвечать в темах
  • Вы не можете прикреплять вложения
  • Вы не можете редактировать свои сообщения
  •  
Похоже, что вы используете блокировщик рекламы :(
Форум QRZ.RU существует только за счет рекламы, поэтому мы были бы Вам благодарны если Вы внесете сайт в список исключений!
как отключить
×
Рейтинг@Mail.ru
eXTReMe Tracker
Яндекс.Метрика