Нанесение пленки SiO2 на подложку Si

[АрхангеЛ]

Доброго всем дня!
Ребят, помогите разобраться...
Если на пластину кремний нанести при температуре 1200 С пленку оксида кремния, а потом охладить их до комнатной температуры, что случится с их размерами?
Я понимаю что они оба уменьшаться в линейных размерах, но кто уменьшится больше: кремний или пленка?
КТР кремния в 10 раз больше чем КТР его оксида.

зы. Знаю что это является проблемой при создании микропроцессоров... но инфу в интернете не могу найти!

Заранее благодарен!

[приус]

Поищите Чеботкевич Л А.У не вроде бы описана макрокинетическая теория конденсации,методы получения тонких пленок и прочая,влияние температуры,скорости и поверхностной диффузии на процесс формирования пленки.p.s.А почему наносить,может быть окислить?

[vladlat]

Как нанести слой Ge на слой Si? Нужно операцию проводить вне пределах Земли, вдали от магнитных и гравитационных полей, в состоянии невесомости и в глубоком вакууме... Желательно вне пределов Галактики...

[RV3ART]

Этот процесс называется окислением. Кислород с добавлением влаги образует пленку окисла на кремниевой пластине. После отмывки это вторая операция перед нанесением слоя фоторезиста. Правильно заметил приус..

Добавлено через 4 минуты
Набираете в поисковике термическое окисление и вам куча рефератов.

[robotex]

Почему такая огромная температура? В производстве микросхем применяют несколько сот градусов. Пластины ставят стоймя на подставки из фторопласта или керамики внутри кварцевых труб и
окисляют чистым кислородом